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竹内 末広; 金沢 修平
Nuclear Instruments and Methods, 197, p.267 - 272, 1982/00
原研20MVタンデム加速器の高電圧端子内で使用される荷電変換炭素薄膜を大量に生産するための炭素蒸着装置を開発した。この装置は、すでに原研で開発した長寿命炭素薄膜の製造方法をもとに、原研タンデムに十分供給できるように多くのガラス基板に炭素薄膜を蒸着できるように設計・製作された。設計・製作における要点および試作テスト結果、実際にイオン・ビームを用いて荷電変換膜として使用した結果について報告される。